特許
J-GLOBAL ID：200903020207194146
低温の酸化防止ハーメチックシーリング方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小野 由己男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-351203
公開番号（公開出願番号）：特開2003-243550
出願日： 2002年12月03日
公開日（公表日）： 2003年08月29日
要約：
【要約】【課題】 可動の超小型機械構造物素子において酸化を防止して低温でシーリングできるハーメチックシーリング方法を提供する。【解決手段】 準備された蓋2に接合層5、ウェッティング層6及びソルダ層7を蒸着する段階と、前記ソルダ層7上に酸化防止のための第1保護層8を蒸着して蓋2を形成する段階と、素子4が配置され、前記素子4の周辺にメタル層9及び第2保護層10が形成されたパッケージベース1を準備する段階と、前記蓋2とパッケージベース1とを組立てて加熱してシーリングする段階とを含むことを特徴とする。これにより、蓋2に形成されたソルダ層7に第1保護層8を積層してフラックスなしに酸化防止でき、低温でシーリングできるので、特にMEMS素子のように熱や水分、その他の副産物に弱い素子に適している。
請求項（抜粋）：
準備された蓋に接合層、ウェッティング層及びソルダ層を蒸着する段階と、前記ソルダ層上に酸化防止のための第1保護層を蒸着してリードを形成する段階と、素子が配置され、前記素子の周辺にメタル層及び第2保護層が形成されたパッケージベースを準備する段階と、前記リードとパッケージベースとを組立てて加熱してシーリングする段階とを含むことを特徴とする低温の酸化防止ハーメチックシーリング方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
出願人引用 (3件)
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米国特許第5,550,398号明細書
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米国特許第6,046,074号明細書
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米国特許第6,062,461号明細書
審査官引用 (1件)
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