特許
J-GLOBAL ID：200903020209318497
過酸化水素水の精製方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
久保山 隆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-341276
公開番号（公開出願番号）：特開平11-171508
出願日： 1997年12月11日
公開日（公表日）： 1999年06月29日
要約：
【要約】【課題】 不純物である金属成分の濃度が極めて低く、よって半導体の製造プロセスに最適に使用し得る超高純度の過酸化水素水を得ることができる過酸化水素水の精製方法を提供する。【解決手段】 不純物である金属成分を含む粗過酸化水素水をカチオン交換樹脂と接触させて精製する方法において、6重量%の塩酸水溶液を通液した時のナトリウムの溶出量が2.0μg-Na/hour・L-Resin以下であるカチオン交換樹脂を使用することを特徴とする過酸化水素水の精製方法。
請求項（抜粋）：
不純物である金属成分を含む粗過酸化水素水をカチオン交換樹脂と接触させて精製する方法において、6重量%の塩酸水溶液を通液した時のナトリウムの溶出量が2.0μg-Na/hour・L-Resin以下であるカチオン交換樹脂を使用することを特徴とする過酸化水素水の精製方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C01B 15/013
, B01J 39/04 H
