特許

J-GLOBAL ID：200903020211946683

ウエハー加熱装置および加熱装置用発熱体

発明者： 小川 武 ,  森岡 太郎 ,  倉田 英治 ,  井上 克郎 ,  小坂井 守
出願人/特許権者： 住友大阪セメント株式会社
代理人 (1件)： 土橋 皓
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-329406
公開番号（公開出願番号）：特開平7-192844
出願日： 1993年12月27日
公開日（公表日）： 1995年07月28日
要約：

【要約】【目的】 高速昇温性、均熱性に優れたウエハー加熱装置および加熱装置用発熱体に関し、高速昇降性にすぐれ、また昇温および保持温度において高い均熱性を有することを目的とする。【構成】 通電加熱型の発熱体を設置したヒーターユニットにおいて、上記発熱体を所定値以下の固有抵抗値を有し、1mm以下のスリット幅で発熱体パターンを刻設した平板状の炭化けい素材に、固有抵抗値が1×104 Ωcm以上で、厚さが1μm以上の絶縁膜を被覆させるように構成する。

請求項（抜粋）：

通電加熱型の発熱体を設置したヒーターユニットにおいて、上記発熱体を所定値以下の固有抵抗値を有し、1mm以下のスリット幅で発熱体パターンを刻設した平板状の炭化けい素材に、固有抵抗値が1×104 Ωcm以上で、厚さが1μm以上の絶縁膜を被覆させたことを特徴とするウエハー加熱装置。

IPC (5件)：

H05B 3/00 330 ,  C23C 14/06 ,  H01L 21/22 501 ,  H01L 21/324 ,  H05B 3/10

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 特開平2-175659
  
• 特開平4-160788
  
• 特開平2-172177
  
• 特開昭60-200519
  
• 特開平4-065361