特許
J-GLOBAL ID：200903020216067785
欠陥検査装置及び欠陥検査方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
船橋 國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-049354
公開番号（公開出願番号）：特開平8-166779
出願日： 1995年03月09日
公開日（公表日）： 1996年06月25日
要約：
【要約】【目的】 被検査物の画像を正確に表示して誤判定を防止する。【構成】 光源2からの光を集光レンズ7、8、9により集光して液晶パネル10を照明し、その光像を投射レンズ系14、ミラー15、16を用いてスクリーン17上に投射する。検査時にはオペレータ18がスクリーン17上の画像を見て欠陥を検出する。
請求項（抜粋）：
透過性の被検査物を照明するための光源と、前記被検査物を透過して得られた光像をスクリーン上に導くための結像光学系とを備えたことを特徴とする欠陥検査装置。
IPC (3件)：
G09G 3/36
, G01N 21/88
, G02F 1/13 101
