特許
J-GLOBAL ID：200903020217925912
ダイクロイックミラーの製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-195964
公開番号（公開出願番号）：特開平6-186418
出願日： 1992年06月30日
公開日（公表日）： 1994年07月08日
要約：
【要約】【目的】 投影型液晶表示装置で使用される液晶パネルを透過した光を反射または透過させるダイクロイックミラーの製造工程において、ダイクロイックミラーの平面性を良好なものとする製造方法を提供する。【構成】 白板ガラスからなる基板21を研磨加工する際に、平面に加工した基板に誘電体多層膜を形成したときに生じる湾曲形状と逆の湾曲形状に仕上げ、その基板21上に真空蒸着によりSiO2膜とTiO2膜を交互に積層した誘電体多層膜22を形成してダイクロイックミラーを作製することにより、誘電体多層膜22が有する圧縮応力あるいは引っ張り応力により、ダイクロイックミラーの平面性を良好なものとすることができる。
請求項（抜粋）：
誘電体薄膜を基板上に積層して成るダイクロイックミラーの製造方法において、前記基板への前記誘電体薄膜の積層後に前記ダイクロイックミラーが平面状になるように、前記基板を湾曲形状に加工する加工工程を、前記誘電体薄膜を前記基板に積層する工程の前段に設けたことを特徴とするダイクロイックミラーの製造方法。
IPC (2件)：
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