特許
J-GLOBAL ID：200903020233750340
加速度センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
秋本 正実
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-228594
公開番号（公開出願番号）：特開平6-074969
出願日： 1992年08月27日
公開日（公表日）： 1994年03月18日
要約：
【要約】【目的】 リードスルー部でダイシング時発生する電極間の短絡を防止し、歩留りの向上を可能とする。【構成】 導電性を有するシリコン板と、該シリコン板の上下面に対向する面に電極を有する2個のガラス板を接着し、かつ該2個のガラス板のスルーホール部および該ガラス板と上記シリコン板との間に形成されたリードスルー部の間隙部を介して外部に取り出される電極と、上記スルーホール部の表面から上記リードスルー部の間隙部に充填された絶縁物とを有する積層体にて構成された加速度センサにおいて、上記リードスルー部の間隙部を、ダイシング時上記シリコン板などの切粉や切屑が侵入しても、短絡を発生しない大きさに構成したものである。
請求項（抜粋）：
中央の導電性を有するシリコン板と、該シリコン板の上下面に対向する面に電極を有する2個のガラス板を接着し、かつ該2個のガラス板のスルーホール部および該ガラス板と上記シリコン板との間に形成されたリードスルー部の間隙部を介して外部に取り出される電極と、上記スルーホール部表面から上記リードスルー部の間隙部に充填された絶縁物とを有する積層体にて構成された加速度センサにおいて、上記リードスルー部の間隙部を、ダイシング時上記シリコン板などの切粉や切屑が侵入しても短絡を発生しない大きさに構成したことを特徴とする加速度センサ。
IPC (2件)：
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