特許
J-GLOBAL ID：200903020245151922
ドーナツ状基板の研削工具およびこの工具を利用した研削方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
重信 和男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-219521
公開番号（公開出願番号）：特開平8-057756
出願日： 1994年08月22日
公開日（公表日）： 1996年03月05日
要約：
【要約】【目的】 粗仕上げから仕上げまでを短時間に行え、かつダイヤモンド砥石の寿命を大幅に延ばせる高精度のドーナツ状基板の研削工具およびこの工具を利用した研削方法を提供すること。【構成】 高さの異なる一対の環状凹部8のダイヤモンド砥石面12のダイヤモンドの粒度がそれぞれ上下で異なっているため、例えば、粒度の大きなダイヤモンドを有するダイヤモンド砥石面12でドーナツ状基板の粗仕上げ加工を行った後、次に研削工具を取り外すことなく上下方向に移動するのみで、粒度の小さなダイヤモンドを有するダイヤモンド砥石面12’でのドーナツ状基板の高精度な仕上げ研削を行える。
請求項（抜粋）：
コアー部材と、該コアー部材を包囲するように形成されたフレアー部材とからなるワークであり、コアー部材の外周部には上下位置に複数の環状凹部が、さらにフレアー部材には前記コアー部材の外周の環状凹部と同高さにやはり上下位置に複数の環状凹部が形成されており、同高さの内外の環状凹部を一対として、この一対の環状凹部は、他の異なる高さの一対の環状凹部に対して粒度の異なるダイヤモンドを使用したダイヤモンド砥石面であることを特徴とするドーナツ状基板の研削工具。
IPC (3件)：
B24B 9/00
, B24D 5/00
, B24D 17/00
