干渉計装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：奈良武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-185935
公開番号（公開出願番号）：特開平9-033228
出願日： 1995年07月21日
公開日（公表日）： 1997年02月07日
要約：

【要約】【課題】回折素子による歪曲を含まない高精度な干渉縞像を得ることができる干渉計装置を提供する。【解決手段】本発明は、干渉計1と、回折素子2とを用いて被検面3aの干渉縞像を生成する干渉計装置において、前記回折素子2における光の回折に伴って生じる干渉縞像の歪曲を補正する歪曲補正手段5を具備したものである。これにより、回折素子2による歪曲を補正することができ、被検面3aの形状を正確かつ高精度に観察できる。

請求項（抜粋）：

干渉計と、回折素子とを用いて被検面の干渉縞像を生成する干渉計装置において、前記回折素子における光の回折に伴って生じる干渉縞像の歪曲を補正する歪曲補正手段を具備したことを特徴とする干渉計装置。

IPC (3件)：

G01B 11/24 , G01B 9/02 , G01M 11/00

FI (3件)：

G01B 11/24 D , G01B 9/02 , G01M 11/00 L

前のページに戻る