周期性パターンのムラ検査方法及び装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高矢諭 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-345557
公開番号（公開出願番号）：特開2002-148210
出願日： 2000年11月13日
公開日（公表日）： 2002年05月22日
要約：

【要約】【課題】ジャストフォーカスで対象物を画像入力して、モアレ縞の影響を受けることなく周期性パターンを高精度で検査できるようにする。【解決手段】幅の狭いパターンPが、幅方向に繰り返し形成されている対象物Wを透過照明下で撮像して検査する際、CCDカメラ(撮像手段)12を、その画素列方向のパターンの幅方向とを合わせ、且つ撮像手段をジャストフォーカスに設定し、撮像手段と対象物の相対位置を、全てのパターンが、1度は全幅に亘って1画素の視野に収まる条件でずらし、位置ずらし対象画像を撮像し、画像処理部14において、これらを光源画像で除算して位置ずらし透過率画像を作成し、全透過率画像で同一座標の画素の中で最大の輝度値を、同画素の輝度値にして最大値画像とし、該画像からパターン全幅に対応する画素のみを抽出して作成されるパターン画像を基に検査する。

請求項（抜粋）：

幅の狭いパターンが、パターン間を介して幅方向を形成方向にして繰り返し形成されている対象物を、撮像手段により反射照明下で撮像し、得られる画像を画像処理して前記パターンを検査する周期性パターンのムラ検査方法において、前記撮像手段を、その画素列方向と前記対象物の形成方向とを合わせて配置し、且つ前記撮像手段の光学系レンズをジャストフォーカスに設定し、撮像範囲に含まれる全てのパターンを、少なくとも1度は全幅に亘って1画素の視野に収めることができる光学条件と位置ずらし条件の下で、前記撮像手段と対象物との前記形成方向の相対位置をずらしながら、複数枚の位置ずらし対象画像を撮像すると共に、全ての位置ずらし対象画像における同一座標の画素の中で最大の輝度値を、同画素の輝度値に設定して1枚の最大値画像を作成し、該最大値画像から前記対象物に形成されている各パターンの全幅の輝度値に対応する画素からなるパターン画像を作成し、該パターン画像を被検査画像として前記パターンを検査することを特徴とする周期性パターンのムラ検査方法。

IPC (4件)：

G01N 21/956 , G01B 11/24 , H01J 9/14 , H01J 9/42

FI (6件)：

G01N 21/956 Z , H01J 9/14 G , H01J 9/14 H , H01J 9/42 A , G01B 11/24 F , G01B 11/24 K

Fターム (33件)：

2F065AA56 , 2F065BB02 , 2F065CC00 , 2F065DD03 , 2F065FF04 , 2F065FF41 , 2F065HH15 , 2F065JJ03 , 2F065JJ26 , 2F065LL21 , 2F065MM03 , 2F065MM24 , 2F065NN02 , 2F065QQ13 , 2F065QQ21 , 2F065QQ32 , 2F065QQ33 , 2F065SS13 , 2G051AA90 , 2G051AB20 , 2G051BA00 , 2G051CA03 , 2G051CA04 , 2G051CB02 , 2G051DA07 , 2G051EA11 , 2G051EC02 , 2G051EC05 , 2G051ED07 , 2G051FA10 , 5C012AA02 , 5C012BE03 , 5C027HH29

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