光半導体素子アレイと光ファイバアレイの光学的結合方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松本昂
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-165196
公開番号（公開出願番号）：特開平6-003565
出願日： 1992年06月24日
公開日（公表日）： 1994年01月14日
要約：

【要約】【目的】本発明は光半導体素子アレイと光ファイバアレイの光学的結合方法に関し、調整の自動化に適した方法の提供を目的とする。【構成】光半導体素子アレイ12と光ファイバアレイ2が互いにほぼ対向するようにこれらを支持し、これらのいずれか一方を光ファイバと垂直な平面内で移動させるようにした方法において、最も外側に位置する光ファイバを第1及び第2基準ファイバとし、最も外側に位置する光半導体素子を第1及び第2基準素子とするときに、まず、第1基準ファイバと第1基準素子の光結合効率が最大になるように両アレイのいずれかを移動させてその座標を測定し、次いで、第2基準ファイバと第2素子の光結合効率が最大になるように上記いずれかのアレイを移動させてその座標を測定し、これらの座標測定値に基づいて算出された両アレイ間の角度により回転調整を行った後、上記いずれかのアレイを平行移動させるようにする。

請求項（抜粋）：

複数の光半導体素子を等間隔で一列に配してなる光半導体素子アレイ(12)と複数の光ファイバを上記光半導体素子の間隔に等しい間隔で一列に配してなる光ファイバアレイ(2) が互いにほぼ対向するように該光半導体素子アレイ(12)及び光ファイバアレイ(2) を支持し、該光半導体素子アレイ及び光ファイバアレイのいずれか一方を上記光ファイバと垂直な平面内で移動させて上記各光半導体素子が対応する上記各光ファイバと光結合するようにした光半導体素子アレイと光ファイバアレイの光学的結合方法において、上記光ファイバアレイ(2) の最も外側に位置するうちの一方の第1基準ファイバ(4A)と上記複数の光半導体素子のうちで上記第1基準ファイバに対応する第1基準素子(14A) の間の光結合効率が最大になるように上記光半導体素子アレイ(12)及び光ファイバアレイ(2) のいずれか一方を上記平面内で移動させてその座標を測定する第1のステップと、上記光ファイバアレイ(2) の最も外側に位置するうちの他方の第2基準ファイバ(4B)と上記複数の光半導体素子のうちで上記第2基準ファイバに対応する第2基準素子(14B) の間の光結合効率が最大になるように上記光半導体素子アレイ(12)及び光ファイバアレイ(2) のうち上記第1のステップで移動させたものを平行移動させてその座標を測定する第2のステップと、上記第1及び第2のステップで測定された座標に基づき上記光半導体素子アレイ(12)と上記光ファイバアレイ(2) がなす角を算出し、上記光半導体素子アレイ及び光ファイバアレイのいずれか一方を上記算出された角に相当する角度回転させる第3のステップと、上記第1基準ファイバ(4A)と上記第1基準素子(14A) の光結合効率又は上記第2基準ファイバ(4B)と上記第2基準素子(14B) の光結合効率が最大になるように上記光半導体素子アレイ(12)及び光ファイバアレイ(2) のいずれか一方を平行移動させる第4のステップとを含むことを特徴とする光半導体素子アレイと光ファイバアレイの光学的結合方法。

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