特許
J-GLOBAL ID：200903020264131800
自動位置合せ装置
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
小野 尚純
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-039258
公開番号（公開出願番号）：特開平6-226958
出願日： 1993年02月04日
公開日（公表日）： 1994年08月16日
要約：
【要約】【目的】 複数の撮像手段を備え、被処理物が大きい場合は複数の撮像手段を使用し、被処理物が小さい場合には1個の撮像手段のよって複数のアライメントマークを同時に認識することにより、如何なる大きさの被処理物にも対応でき、アライメントマーク認識作業の短縮化を図る。【構成】 被処理物を保持する記保持手段をx方向、y方向及びθ方向に移動せしめるための移動手段と、前記被処理物の一部の画像を撮像して撮像信号を出力する複数の撮像手段と、該撮像手段の使用個数を指定する指定手段と、前記撮像手段及び指定手段からの信号に基づいて前記移動手段を作動して位置合せ制御する制御手段とを有し、該制御手段は、前記指定手段からの信号に基づいて被処理物の表面に形成された複数のアライメントマークを1個の撮像手段または複数の撮像手段によって撮像された信号に基づいて位置合せ制御する。
請求項（抜粋）：
保持手段上に保持された被処理物の表面に形成された複数のアライメントマークを撮像手段によって認識し、該認識されたアライメントマークと基準点との差異に基づき前記保持手段を作動して位置合せを行う自動位置合せ装置において、前記保持手段をx方向、y方向及びθ方向に移動せしめるための移動手段と、前記被処理物の一部の画像を撮像して撮像信号を出力する複数の撮像手段と、該撮像手段の使用個数を指定する指定手段と、前記撮像手段及び指定手段からの信号に基づいて前記移動手段を作動して位置合せ制御する制御手段とを有し、該制御手段は、前記指定手段からの信号に基づいて被処理物の表面に形成された複数のアライメントマークを1個の撮像手段または複数の撮像手段によって撮像された信号に基づいて位置合せ制御する、ことを特徴とする自動位置合せ装置。
IPC (4件)：
B41F 33/14
, B41F 15/08 303
, B41F 15/26
, G01B 11/00
