特許
J-GLOBAL ID：200903020265347378
インクジェットヘッド及びその検査方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
石井 暁夫
, 東野 正
, 西 博幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-205967
公開番号（公開出願番号）：特開2007-021855
出願日： 2005年07月14日
公開日（公表日）： 2007年02月01日
要約：
【課題】 圧力室の開口を覆うセラミックス層における欠陥(ヘアクラック)が短小であっても、その有無を高い精度で検出する。【解決手段】 キャビティユニット20における圧電アクチュエータ21が積層される面は導電性を有し、圧電アクチュエータ21には、圧力室24の開口を直接覆う第1のセラミックス層41と、複数の圧力室24に渡って面状に形成されたクラック検査用電極51の層と、第3のセラミックス層43と、駆動用電極に挟まれた第2のセラミックス層42とが、圧力室側からその順序で含まれる。圧力室24にインクを充填した状態で、キャビティユニット20とクラック検査用電極51との間の絶縁抵抗を測定することで、セラミックス層41における欠陥を検出する。【選択図】 図5
請求項（抜粋）：
インクを吐出する複数のノズルが配置され、前記各ノズル毎に対応する複数の圧力室が平面上に開口形成されたキャビティユニットと、
前記キャビティユニットの前記圧力室が開口した面に積層され、インクが充填された前記圧力室に吐出圧力を与える圧電アクチュエータと、を備えるインクジェットヘッドにおいて、
前記キャビティユニットにおける前記圧電アクチュエータが積層される面は、導電性を有し、
前記圧電アクチュエータには、前記複数の圧力室にわたる大きさを有する扁平形状で且つその扁平な方向と直交する方向に積層される複数のセラミックス層と、このセラミックス層の扁平な方向の面上に配置される複数の電極層とが備えられ、
前記セラミックス層には、前記圧力室の開口を直接覆う第1のセラミックス層と、前記第1のセラミックス層における前記圧力室と対向する面とは反対の面側に配置される1層または複数層の第2のセラミックス層と、前記第1のセラミックス層と前記第2のセラミックス層との間に介在する第3のセラミックス層とが含まれ、
前記電極層には、前記第1のセラミックス層と第3のセラミックス層との間に配置され且つ前記複数の圧力室にわたって面状に形成されたクラック検査用電極の層と、前記第2のセラミックス層を挟んで対をなす駆動用電極の層とが含まれていることを特徴とするインクジェットヘッド。
IPC (3件)：
B41J 2/045
, B41J 2/055
, B41J 2/16
B41J3/04 103A
, B41J3/04 103H
2C057AF70
, 2C057AF93
, 2C057AG15
, 2C057AG33
, 2C057AG44
, 2C057AG47
, 2C057AG92
, 2C057AG93
, 2C057AG94
, 2C057AP02
, 2C057AP25
, 2C057AP82
, 2C057BA04
, 2C057BA14
