特許

J-GLOBAL ID：200903020265707552

洗浄液及び洗浄方法

発明者： 森 良弘 ,  佐近 正 ,  上村 賢一 ,  畑中 裕行 ,  垂永 伸二
出願人/特許権者： 新日本製鐵株式会社 ,  ニッテツ電子株式会社
代理人 (1件)： 井上 雅生
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-058258
公開番号（公開出願番号）：特開平7-245281
出願日： 1994年03月04日
公開日（公表日）： 1995年09月19日
要約：

【要約】【目的】 本発明は、強固な汚染の除去を可能とする洗浄液ならびに洗浄方法を提供することを目的とする。【構成】 0.05mol/l以上5mol/l以下のアルカリ金属の水酸化物および0.02mol/l以上0.5mol/l以下の過酸化水素を含むアルカリ性の酸化性水溶液である。さらに0.0001mol/l以上0.01mol/l以下の界面活性剤を含んでよい。界面活性剤としてはアルキルベンゼンスルホン酸塩を用いてよい。さらに超音波揺動を併用してよい。

請求項（抜粋）：

0.05mol/l以上5mol/l以下のアルカリ金属の水酸化物、及び0.02mol/l以上0.5mol/l以下の過酸化水素を含むアルカリ性の酸化性水溶液であり、洗浄によって、被洗浄物表面の汚染を低減することを特徴とする洗浄液。

IPC (7件)：

H01L 21/304 341 ,  H01L 21/304 ,  C11D 1/22 ,  C11D 7/06 ,  C11D 7/18 ,  H01L 21/308 ,  B08B 3/08