特許

J-GLOBAL ID：200903020269610634

光リソグラフィー用光学部材及びその評価方法

発明者： 佐久間 繁
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-363584
公開番号（公開出願番号）：特開2003-161708
出願日： 2001年11月29日
公開日（公表日）： 2003年06月06日
要約：

【要約】【課題】 結像性能が良好なフッ化物結晶からなる光学素子を提供する。【解決手段】 フッ化物結晶からなる光リソグラフィー用光学部材の評価方法において、光学部材の結晶面方位を測定する工程と、測定の結果に基づいて双晶の領域を特定する工程とを有する構成とする。

請求項（抜粋）：

フッ化物結晶からなる光リソグラフィー用光学部材の評価方法において、前記光学部材の結晶面方位を測定する工程と、前記測定の結果に基づいて双晶の領域を特定する工程と、を有することを特徴とする光学部材の評価方法。

IPC (6件)：

G01N 23/20 ,  G02B 1/02 ,  G02B 1/11 ,  G02B 5/26 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027

FI (6件)：

G01N 23/20 ,  G02B 1/02 ,  G02B 5/26 ,  G03F 7/20 521 ,  G02B 1/10 A ,  H01L 21/30 515 D

Fターム (28件)：

2G001AA01 ,  2G001AA07 ,  2G001AA10 ,  2G001BA11 ,  2G001BA19 ,  2G001CA01 ,  2G001CA07 ,  2G001DA09 ,  2G001GA07 ,  2G001GA14 ,  2G001HA12 ,  2G001KA04 ,  2G001KA07 ,  2G001KA08 ,  2G001KA20 ,  2G001LA20 ,  2G001MA05 ,  2G001MA06 ,  2G001RA01 ,  2G001RA08 ,  2G001SA02 ,  2H048FA09 ,  2H048FA18 ,  2H048FA22 ,  2K009AA02 ,  2K009BB04 ,  2K009DD08 ,  5F046CB01