特許

J-GLOBAL ID：200903020274855289

膜厚測定装置

発明者： 杉岡 幹生
出願人/特許権者： 株式会社島津製作所
代理人 (1件)： 中村 茂信
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-022200
公開番号（公開出願番号）：特開平6-235615
出願日： 1993年02月10日
公開日（公表日）： 1994年08月23日
要約：

【要約】【目的】 波長によって屈折率が変化する試料であっても、精度よく測定できる分光光度計使用の膜厚測定装置を提供する。【構成】 分光光度計で、被測定膜の干渉スペクトルを測定し(ST1)、計算範囲を指定し(ST2)、その計算範囲をいくつかに分割する区間を指定し(ST3)、区間毎の平均屈折率を入力し(ST4)、その各平均屈折率を用いて区間毎の膜厚を算出し(ST5)、得られた区間毎の膜厚の総和を分割数で除算して、平均値を求め、被測定膜厚とする(ST6)。

請求項（抜粋）：

被測定膜に所定角度で波長の連続的に変化する光を照射し、得られる反射波より、被測定膜の干渉スペクトルを測定する分光光度計と、前記干渉スペクトルに、計算するための波長範囲を指定する波長範囲指定手段と、前記指定された波長範囲を所望個数の区間に分割指定する区間指定手段と、前記各区間におけるそれぞれの被測定膜の平均屈折率を入力する屈折率入力手段と、屈折率を含む所定式に、前記各区間毎の平均屈折率を適用して各区間毎に、膜厚を算出する区間膜厚算出手段と、算出された区間膜厚の平均値を算出して被測定膜厚を算出する手段と、からなることを特徴とする膜厚測定装置。