特許
J-GLOBAL ID：200903020285353064
エレクトロルミネッセンス発光膜の成膜方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山口 巖
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-113833
公開番号（公開出願番号）：特開平5-315075
出願日： 1992年05月07日
公開日（公表日）： 1993年11月26日
要約：
【要約】【目的】 Sr,Ca等の硫化物を母材としCe,Eu,Pr等の稀土類元素を発光中心とするエレクトロルミネッセンス発光膜をスパッタ法により高輝度で種々な発光色で成膜できるようにする。【構成】ターゲット20として母材用のSr等の硫化対象元素を用い、スパッタ装置60に供給するAr等のスパッタリングガスSGに母材用硫黄化合物40としてH2Sガスを混合し、かつ発光中心用の稀土類元素化合物50として例えばトリスシクロペンタジエニルセリウムをガス発生器52内で加熱してAr等のキャリアガスを流すことによりガス化させてスパッタリングガスSGに添加し、かかる母材用の硫黄と発光中心用の稀土類元素を含むスパッタリングふん囲気内で高周波スパッタ法により表示パネル10にエレクトロルミネッセンス発光膜14を成膜する。
請求項（抜粋）：
硫化物を母材とし発光中心として稀土類元素を含むエレクトロルミネッセンス発光膜をスパッタ法により成膜する方法であって、母材用の硫化対象元素をターゲットとしてスパッタリングガスに硫黄化合物ガスを混合しかつガス化した稀土類元素の化合物を添加したスパッタリングふん囲気内で発光膜を堆積することを特徴とするエレクトロルミネッセンス発光膜の成膜方法。
IPC (2件)：
引用特許：
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