特許
J-GLOBAL ID：200903020290729919

カーボンナノチューブの製法

発明者：
田 透

田 透 について


出願人/特許権者：
キヤノン株式会社

キヤノン株式会社 について


代理人 (1件)： 若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-008461
公開番号（公開出願番号）：特開平10-203810
出願日： 1997年01月21日
公開日（公表日）： 1998年08月04日
要約：
【要約】【課題】 比較的低温で基体上に精製処理の必要のないカーボンナノチューブを成長させることができ、かつ条件を選択することで特性が均一で方向性がより改善されたカーボンナノチューブを成長させ得る方法を提供すること。【解決手段】 基体の表面に予めカーボンナノチューブ成長開始領域を形成しておき、これを前記反応容器内に配置した状態で、炭素導入用の原料を含む原料ガスを反応容器内に導入し、更に反応容器中に直流グロー放電によるプラズマを発生させることで基体上にカーボンナノチューブを形成する。
請求項（抜粋）：
反応容器中に配置した基体上にカーボンチューブを成長させる方法であって、表面にカーボンナノチューブ成長開始領域を予め形成した基体を前記反応容器内に配置した状態で、炭素導入用の原料を含む原料ガスを該反応容器内に導入し、かつ該反応容器中に直流グロー放電によるプラズマを発生させることによって前記基体上にカーボンナノチューブを形成することを特徴とするカーボンナノチューブの製造方法。
IPC (3件)：
C01B 31/02 101 ,  D01F 9/127 ,  G01N 37/00
FI (3件)：
C01B 31/02 101 Z ,  D01F 9/127 ,  G01N 37/00 C
引用特許：
審査官引用 (4件)
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