特許
J-GLOBAL ID：200903020295967729
高さ測定装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-013002
公開番号（公開出願番号）：特開平8-201521
出願日： 1995年01月30日
公開日（公表日）： 1996年08月09日
要約：
【要約】【目的】本発明は、レーザ走査位置に対して被測定面の幅が狭かったり、横ずれして全てのスリットを通過する反射光が得られなくても確実に被測定面の高さを測定する。【構成】レーザ光を被測定面3に走査してその反射レーザ光を各スリット10a〜10eに設けられた各透過波長の異なる各フィルタ11a〜11eを透過させ、かつレーザ発振器12のレーザ発振波長を発振波長制御回路13により各フィルタ11a〜11eの各透過波長に合わせて可変制御する。
請求項（抜粋）：
測定用光を被測定面に走査し、その反射光を前記基準面上の各走査位置の各反射方向に対応して設けられた各スリットに通過させ、この通過した各反射光の検出タイミングと前記測定用光の走査開始時との時間差に基づいて前記被測定面の高さを測定する高さ測定装置において、前記各スリットに設けられた各透過波長の異なる各フィルタと、前記測定用光の波長を前記各フィルタの各透過波長に可変制御する波長制御手段と、を具備したことを特徴とする高さ測定装置。
IPC (2件)：
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