特許

J-GLOBAL ID：200903020300497817

振動ミラー、光書込装置および画像形成装置

発明者： 佐藤 幸人
出願人/特許権者： 株式会社リコー
代理人 (2件)： 鈴木 誠 ,  大浦 一仁
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-040961
公開番号（公開出願番号）：特開2004-252048
出願日： 2003年02月19日
公開日（公表日）： 2004年09月09日
要約：

【課題】リブ構造の加工精度による共振周波数のばらつきを小さくし、生産の歩留まりを向上させる。【解決手段】ミラー部102を形成する第1の基板101は、剛性が高く、シリコンや樹脂とのエッチング選択比が大きなガラス基板で形成し、第1の基板の反ミラー面側に接合されミラー部を補強するリブ部103と、それと結合する梁104、105を形成する第2の基板108は、適度な剛性をもち、基板自体を電極として使用可能な低抵抗の単結晶シリコン基板で形成し、梁104、105の外側を枠状に支持部を形成する第3の基板109は、加工が容易で安価なポリイミドで形成する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

光ビームを反射するミラー基板と、ミラー基板を支持する同一直線上に設けられた2本の梁と、前記ミラー基板に回転力を発生するミラー駆動手段とを有し、前記ミラー基板を前記梁をねじり回転軸として、所定の走査周波数で往復振動する振動ミラーであって、ミラー部を形成する第1の基板と、第1の基板の反ミラー面側に接合され前記ミラー部を補強するリブ部と、それと結合する梁部とを形成する第2の基板と、第1、第2のいずれかに接合され枠状に支持部を形成する第3の基板とからなることを特徴とする振動ミラー。

IPC (3件)：

G02B26/10 ,  B41J2/44 ,  B81B3/00

FI (3件)：

G02B26/10 104Z ,  B81B3/00 ,  B41J3/00 D

Fターム (4件)：

2C362BA17 ,  2H045AB06 ,  2H045AB16 ,  2H045AB73