特許
J-GLOBAL ID:200903020300853257
平板表示装置用の薄膜トランジスタアレイ基板、それを備える有機発光表示装置、及びそれらの製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (3件):
佐伯 義文
, 渡邊 隆
, 村山 靖彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2009-107843
公開番号(公開出願番号):特開2009-271527
出願日: 2009年04月27日
公開日(公表日): 2009年11月19日
要約:
【課題】平板表示装置用の薄膜トランジスタアレイ基板、それを備える有機発光表示装置、及びそれらの製造方法を提供する。【解決手段】基板上に形成されたTFTの活性層、及び活性層と同一層に同一物質で形成されたキャパシタの第1電極と、活性層及び第1電極それぞれの上部に分離されて形成された第1絶縁層と、第1絶縁層上に形成され、活性層のチャンネル領域に対応するゲート電極、及びゲート電極と同一層に同一物質で第1電極に対応する第2電極と、基板、第1絶縁層、ゲート電極及び第2電極上に形成された第2絶縁層と、第2絶縁層上に形成され、ソース/ドレイン領域と接続する画素電極、画素電極の上部に積層されたソース/ドレイン電極、及びキャパシタの第2電極に対応するように画素電極及びソース/ドレイン電極と同一物質が順次に積層されて形成された第3電極と、を備える平板表示装置用の薄膜トランジスタアレイ基板。【選択図】図11
請求項(抜粋):
基板上に所定のパターンで形成された薄膜トランジスタの活性層、及び前記活性層と同一層に同一物質で所定間隔ほど離隔されて形成されたキャパシタの第1電極と、
前記活性層及び前記第1電極それぞれの上部に分離されて形成された第1絶縁層と、
前記第1絶縁層上に形成され、前記活性層のチャンネル領域に対応するゲート電極、及び前記ゲート電極と同一層に同一物質で前記第1電極に対応する第2電極と、
前記基板、第1絶縁層、ゲート電極及び第2電極上に形成された第2絶縁層と、
前記第2絶縁層上に形成され、前記活性層のソースまたはドレイン領域とコンタクトホールを通じて接続する画素電極、前記コンタクトホールに形成され、前記画素電極と同一物質の上部に積層されたソース及びドレイン電極、及び前記キャパシタの第2電極に対応するように前記画素電極及びソース及びドレイン電極と同一物質が順次に積層されて形成された第3電極と、を備えることを特徴とする平板表示装置用の薄膜トランジスタアレイ基板。
IPC (8件):
G09F 9/30
, H01L 27/32
, G09F 9/00
, H01L 51/50
, H05B 33/10
, G02F 1/136
, H01L 21/336
, H01L 29/786
FI (7件):
G09F9/30 338
, G09F9/30 365Z
, G09F9/00 338
, H05B33/14 A
, H05B33/10
, G02F1/1368
, H01L29/78 612D
Fターム (85件):
2H092GA11
, 2H092HA04
, 2H092JA24
, 2H092JA37
, 2H092JA41
, 2H092JA46
, 2H092MA14
, 2H092MA16
, 2H092NA27
, 3K107AA01
, 3K107BB01
, 3K107CC45
, 3K107DD03
, 3K107DD22
, 3K107DD23
, 3K107DD24
, 3K107DD27
, 3K107DD28
, 3K107DD29
, 3K107DD44X
, 3K107DD44Y
, 3K107DD46X
, 3K107DD46Y
, 3K107EE03
, 3K107EE42
, 3K107GG00
, 3K107HH05
, 5C094AA43
, 5C094BA03
, 5C094BA27
, 5C094BA43
, 5C094DA13
, 5C094EA04
, 5C094GB10
, 5F110AA16
, 5F110BB01
, 5F110CC02
, 5F110DD01
, 5F110DD02
, 5F110DD13
, 5F110DD14
, 5F110DD17
, 5F110EE02
, 5F110EE03
, 5F110EE04
, 5F110EE06
, 5F110EE14
, 5F110EE43
, 5F110FF02
, 5F110FF03
, 5F110FF29
, 5F110FF30
, 5F110FF32
, 5F110GG02
, 5F110GG13
, 5F110GG42
, 5F110HJ13
, 5F110HL02
, 5F110HL03
, 5F110HL04
, 5F110HL06
, 5F110HL07
, 5F110HL11
, 5F110HL12
, 5F110HL22
, 5F110NN03
, 5F110NN22
, 5F110NN23
, 5F110NN24
, 5F110NN27
, 5F110NN35
, 5F110NN36
, 5F110NN73
, 5F110PP01
, 5F110PP02
, 5F110PP03
, 5F110PP34
, 5F110QQ02
, 5F110QQ11
, 5F110QQ19
, 5G435AA17
, 5G435BB05
, 5G435BB12
, 5G435HH13
, 5G435KK05
引用特許:
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