特許
J-GLOBAL ID：200903020308347326
光ビーム走査装置及びレーザ走査顕微鏡
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長谷川 芳樹 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-343029
公開番号（公開出願番号）：特開平5-173085
出願日： 1991年12月25日
公開日（公表日）： 1993年07月13日
要約：
【要約】【目的】 光ビームの実質的な走査速度或いは走査周波数を上げ、一定面積の走査に要する時間を短縮すると共に、走査結像面から戻る検出すべき反射光又は蛍光を確実に受光することを可能とする光ビーム走査装置、及びレーザ走査顕微鏡を提供することにある。【構成】 光ビーム走査装置10は、複数の光ビームを各々異なる出射角度で出射する光ビーム出射部11と、出射された複数の光ビームを受けx方向に同時に走査するスキャナ12と、有効視野内に常に1本の光ビームを出射するように、入射する光ビームの進行を制限するスリット13aを備えた絞り13と、絞り13を通過した1本の光ビームをy方向に走査するスキャナ14とを備え、光ビーム出射部11を、ビームスプリッター11a,11bと,反射ミラー11cとで構成する。
請求項（抜粋）：
一定の出射対象に向けて複数の光ビームを各々異なる出射角度で出射する光ビーム出射手段と、前記光ビーム出射手段から出射された複数の光ビームを受け、この複数の光ビームをx方向に同時に走査する第1の走査手段と、前記第1の走査手段によって走査された各光ビームが入射し、この入射する光ビームのうち、有効視野内に常に1本の光ビームを出射するように、入射する光ビームの進行を制限する光ビーム制限手段と、前記光ビーム制限手段から出射された1本の光ビームを前記x方向と直交するy方向に走査する第2の走査手段とを備えることを特徴とする光ビーム走査装置。
IPC (2件)：
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