特許
J-GLOBAL ID:200903020315273010

リボルバー式挿入光源

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 鈴木 崇生 (外4名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-321282
公開番号(公開出願番号):特開2001-143899
出願日: 1999年11月11日
公開日(公表日): 2001年05月25日
要約:
【要約】【課題】 装置全体の小型化に寄与できると共に従来よりも高輝度光を得ることのできるリボルバー式挿入光源を提供すること。【解決手段】 多数の磁石が列状に配置された第1、第2磁石列4a,5aが円周方向に沿って取り付け支持された第1、第2支持体4,5と、第1、第2支持体4,5を回転することにより複数の第1、第2磁石列4a,5aのうちの1つを選択し、選択された第1、第2磁石列4a,5aとの間に形成される電子ビームが通過するためのギャップ空間と、複数の第1、第2磁石列4a,5aを真空封止する真空槽3と、第1、第2磁石列4a,5aの選択をするために第1、第2支持体4,5を回転駆動する回転駆動装置20,21と、ギャップ間隔を変更するために第1、第2支持体4,5を直線駆動する直線駆動装置とを備え、回転駆動装置と直線駆動装置が真空槽3の外側の大気中に設けられている。
請求項(抜粋):
多数の磁石が列状に配置された第1磁石列と、この第1磁石列の複数が円周方向に沿って取り付け支持された第1支持体と、多数の磁石が列状に配置された第2磁石列と、この第2磁石列の複数が円周方向に沿って取り付け支持された第2支持体と、前記第1支持体を回転することにより前記複数の第1磁石列のうちの1つを選択すると共に、前記第2支持体を回転することにより前記複数の第2磁石列のうち1つを選択することにより、これら選択された前記第1磁石列と前記第2磁石列との間に形成される電子ビームが通過するためのギャップ空間と、前記複数の第1磁石列と前記複数の第2磁石列とを真空封止する真空槽と、前記第1磁石列と前記第2磁石列の選択をするために前記第1支持体及び前記第2支持体を回転駆動する回転駆動装置と、前記ギャップ空間のギャップ間隔又は位置を変更するために前記第1支持体及び前記第2支持体を直線駆動する直線駆動装置とを備え、前記回転駆動装置と前記直線駆動装置が前記真空槽の外側の大気中に設けられていることを特徴とするリボルバー式挿入光源。
IPC (3件):
H05H 13/04 ,  G21K 1/093 ,  H05H 7/14
FI (4件):
H05H 13/04 F ,  H05H 13/04 C ,  G21K 1/093 Z ,  H05H 7/14
Fターム (15件):
2G085AA13 ,  2G085BC02 ,  2G085BC03 ,  2G085BC09 ,  2G085BC10 ,  2G085BD01 ,  2G085BD02 ,  2G085BD04 ,  2G085BE02 ,  2G085BE03 ,  2G085BE05 ,  2G085BE06 ,  2G085BE08 ,  2G085DB08 ,  2G085EA01
引用特許:
出願人引用 (2件)
  • 挿入光源
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平7-067769   出願人:石川島播磨重工業株式会社
  • 広帯域アンジュレータ
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平10-056253   出願人:川崎重工業株式会社
審査官引用 (2件)
  • 挿入光源
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平7-067769   出願人:石川島播磨重工業株式会社
  • 広帯域アンジュレータ
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平10-056253   出願人:川崎重工業株式会社
引用文献:
出願人引用 (2件) 審査官引用 (2件)

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