特許

J-GLOBAL ID：200903020318704003

熱電発電素子の製造方法

発明者： 高城 富美男 ,  山上 利昭
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (1件)： 鈴木 喜三郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-250742
公開番号（公開出願番号）：特開平10-098216
出願日： 1996年09月20日
公開日（公表日）： 1998年04月14日
要約：

【要約】【課題】 腕時計、電卓、電子体温計などの小型電子機器に用いられる、出力数μW〜数mWの小型熱電発電素子を効率的に製造する。【解決手段】 エアロゾル化室1で熱電材料の微粒子をエアロゾル化し、搬送管3によって成膜室に搬送し、ノズル6を通して高速で基板7に噴射することによって熱電材料の膜9を形成する。また、基板7またはノズル6を一定の速度で移動させることにより、p型の膜とn型の膜とが電気的に絶縁されたストライプ状のパターンを同一基板上に形成する。

請求項（抜粋）：

熱電材料の微粒子をガス流にのせてノズルを通して高速で基板に噴射することにより、膜を形成することを特徴とする熱電発電素子の製造方法。

IPC (4件)：

H01L 35/34 ,  C23C 4/06 ,  C23C 24/08 ,  H01L 35/16

FI (4件)：

H01L 35/34 ,  C23C 4/06 ,  C23C 24/08 A ,  H01L 35/16