光電式成膜モニター装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-108769
公開番号（公開出願番号）：特開平6-300531
出願日： 1993年04月13日
公開日（公表日）： 1994年10月28日
要約：

【要約】【目的】光学膜厚測定中の外乱による誤動作を排除し、正確な測定を維持できる光電式成膜モニター装置を提供すること。【構成】成膜モニター基板上に光を投射する光源部、基板からの反射光または透過光のうちから所定の波長の光を抜き出す波長選別部、受容した光量に比例した電気信号を発生するセンサ部、センサからの光量データ値をデジタル値に変換するA/D変換部、デジタル値を記憶する記憶回路部、および成膜モニター計算と異常回避処理を行う演算処理部から構成される。

請求項（抜粋）：

投射光源からの光を成膜基板もしくは監視用基板上に照射する光学系と、前記基板からの反射光もしくは透過光あるいはそれら両方を受容して光量を電気信号量に変換するセンサと、前記センサからの電気信号量中の必要な周波数成分のみを検出する複合化回路と、前記複合回路の検出した値をデジタル値に変換するA/D変換器と、前記デジタル値等のデータを処理する演算処理部と、前記データを記憶する記憶部とを備えており、前記センサから異常信号量が発生した場合には前記演算処理部によってこれを検知し、前記記憶部に記憶されている内容に基づいて異常信号値を自動補正することを特徴とする光電式成膜モニター装置。

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開昭64-046604
特開昭63-298112
特開昭64-046604

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