特許
J-GLOBAL ID：200903020324339678
ヒータ断線検出方法およびその装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
森本 義弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-187107
公開番号（公開出願番号）：特開2001-015247
出願日： 1999年07月01日
公開日（公表日）： 2001年01月19日
要約：
【要約】【課題】 温度制御用に使用するヒータの本数が増加しても、それら全てのヒータ断線を電流変換器と断線警報器を1組用いるだけで検出することができ、その数量増加を抑えて、取り付けスペースを削減するとともに、コストの上昇を抑えることができるヒータ断線検出方法およびその装置を提供する。【解決手段】 1組の電流変換器5と断線警報器7を用い、それらに対する複数の断線検出用リード線3の接続を順次切換えリレー4で切換えていきながら、各ヒータ1の断線を検出する。
請求項（抜粋）：
真空容器の温度制御用に設けられた複数本のヒータのそれぞれに、その断線検出用のリード線を接続し、前記断線検出に際し、前記温度制御を停止するとともに、前記複数の断線検出用リード線の接続を順次切換えながら、その時に前記断線検出用リード線に流れる電流を取り込み、その電流量に基づいてヒータの断線の有無を検出するヒータ断線検出方法。
Fターム (5件)：
3K058AA00
, 3K058AA95
, 3K058BA19
, 3K058CA04
, 3K058CF00
