特許

J-GLOBAL ID：200903020327968013

架橋支持された加速度計構造の製造方法および加速度計を形成するウエーハ

発明者： スティーブン・エドワード・ストーラー ,  ジェームズ・ヒューストン・ログスドン
出願人/特許権者： デルコ・エレクトロニクス・コーポレーション
代理人 (1件)： 湯浅 恭三 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-311896
公開番号（公開出願番号）：特開平7-202222
出願日： 1994年12月15日
公開日（公表日）： 1995年08月04日
要約：

【要約】【目的】 第1のウエーハを加工して、全ての側部に薄膜179により支持される試験質量部176を提供を含む架橋支持された加速度計構造を作る方法。【構成】 薄膜179は、画成される架橋部178と同じ厚さを有する。第1のウエーハ172は、内部に形成される空洞158を有する第2のウエーハ152に対して接着される。次に、第1のウエーハ172が加工されて、薄膜179における架橋部178を区切る。第2のウエーハ152における空洞158は、薄膜179の各部が取除かれて最終的な架橋支持された加速度計構造を残すため架橋部の破損が低減する試験質量部176の減衰を提供する。

請求項（抜粋）：

架橋支持された加速度計構造を作る方法において、第1のウエーハ(172)を加工して、ウエーハにおいて区切られた支持肩部(174)から懸架された、前記肩部から試験質量部(176)まで延在する膜(179)により支持される試験質量部を提供するステップと、前記第1のウエーハを、前記試験質量部の運動を許容するため形成された空洞(158)を有する第2のウエーハ(152)に対して接着するステップと、前記薄膜の各部を選択的に取除いて前記肩部から前記試験質量部まで延在する架橋部(178)を形成するステップとを含む方法。

IPC (2件)：

H01L 29/84 ,  G01P 15/04