特許

J-GLOBAL ID：200903020328177044

マイクロ波ガスプラズマ放電方法、装置及びプラズマ放電部

発明者： 高松 利行
出願人/特許権者： 株式会社マトリックス
代理人 (1件)： 犬飼 新平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-026057
公開番号（公開出願番号）：特開平7-220896
出願日： 1994年01月27日
公開日（公表日）： 1995年08月18日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 高効率に高密度のプラズマを生成させ、放電印可を容易に行わせ、マイクロ波電源および同調整合器ユニットへの反射波負荷を減少させ、更に低価格で製作可能にする。【構成】 断面矩形の導波管1の端部の内部にプラズマ放電部20を設置し、プラズマ放電部は、導波管の軸線上にほぼ同心となり、導波管端部側に広くなった底面を持ち、マイクロ波発振部側に狭くなって頂上が尖状または半球状または半円筒状となった中空部材を持ち、部材の高さは、導波管内を伝わるマイクロ波の波長のほぼ1/3以上に定められており、放電部を真空状態にして原料ガスを供給し、導波管内にマイクロ波を発振する。

請求項（抜粋）：

断面矩形の導波管の端部の内部にプラズマ放電部を設置し、該プラズマ放電部は、前記導波管の軸線上にほぼ同心となり、導波管端部側に広くなった底面を持ち、マイクロ波発振部側に狭くなって頂上が尖状または半球状または半円筒状となった中空部材を持ち、該部材の高さは、前記導波管内を伝わるマイクロ波の波長のほぼ1/3以上に定められており、前記放電部を真空状態にして原料ガスを供給し、前記導波管内にマイクロ波を発振することを特徴とするマイクロ波ガスプラズマ放電方法。

IPC (6件)：

H05H 1/46 ,  C23C 16/50 ,  C23F 4/00 ,  H01J 37/32 ,  H01L 21/3065 ,  H01L 21/304 341