特許

J-GLOBAL ID：200903020331262753

ポリシランシリカ-アルカリ可溶性樹脂ハイブリッド材料及びその製造方法並びに反射防止膜材料

発明者： 岡崎 智
出願人/特許権者： 信越化学工業株式会社
代理人 (1件)： 小島 隆司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-231202
公開番号（公開出願番号）：特開2000-044876
出願日： 1998年08月03日
公開日（公表日）： 2000年02月15日
要約：

【要約】【解決手段】 アルカリ可溶性樹脂と下記平均組成式(1) RnSiSi(O)(6-n)/2 (1)(式中、Rは一価炭化水素基を示し、nは1〜3の平均値である。)で表されるポリシランシリカ成分とが分子レベルで絡み合わされてなることを特徴とするポリシランシリカ-アルカリ可溶性樹脂ハイブリッド材料。【効果】 本発明のハイブリッド材料及びこれを用いた反射防止膜材料は、アルカリ可溶性樹脂にオルガノオキシポリシランのゾル-ゲル反応で合成されたポリシランシリカ成分が分子レベルで分散・含有されているもので、ポリシランシリカ-アルカリ可溶性樹脂ハイブリッド材料を反射防止のために使用することができ、下記の特徴を有する。(1)露光光がレジスト層を貫通した後の基板からの反射を防ぎ、ハレーションを防ぐ。(2)レジスト膜の裾引きを防ぐ。(3)レジストパターンの底部に存在し、レジストパターンの耐ドライエッチング性を向上する。(4)レジスト膜としてパターン形成できるので、異方性加工ができる。

請求項（抜粋）：

アルカリ可溶性樹脂と下記平均組成式(1) RnSiSi(O)(6-n)/2 (1)(式中、Rは一価炭化水素基を示し、nは1〜3の平均値である。)で表されるポリシランシリカ成分とが分子レベルで絡み合わされてなることを特徴とするポリシランシリカ-アルカリ可溶性樹脂ハイブリッド材料。

IPC (4件)：

C09D183/14 ,  C09D161/06 ,  G03F 7/004 506 ,  G03F 7/11 503

FI (4件)：

C09D183/14 ,  C09D161/06 ,  G03F 7/004 506 ,  G03F 7/11 503

Fターム (15件)：

2H025AA03 ,  2H025AB16 ,  2H025DA34 ,  4J038DA051 ,  4J038DA061 ,  4J038DL052 ,  4J038GA13 ,  4J038HA446 ,  4J038LA02 ,  4J038MA07 ,  4J038MA09 ,  4J038NA19 ,  4J038PA19 ,  4J038PB09 ,  4J038PC08