特許

J-GLOBAL ID：200903020332992127

マルチビーム光源装置

発明者： 山口 勝己
出願人/特許権者： 株式会社リコー
代理人 (1件)： 柏木 明 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-140261
公開番号（公開出願番号）：特開平6-347712
出願日： 1993年06月11日
公開日（公表日）： 1994年12月22日
要約：

【要約】【目的】 半導体レーザアレイの個々の半導体レーザの出力を高速、高精度に出力制御することが可能なマルチビーム光源装置を提供する。【構成】 半導体レーザアレイ10の出力を制御するマルチビーム光源装置において、Δxを結像面R(Δx=0)からのデフォーカス値とし、NAをモニタ光学系19の物体側開口数とし、pを半導体レーザアレイの隣接発光源間距離とし、mをモニタ光学系19の結像倍率とし、Lをモニタ光学系19の射出瞳と受光素子アレイ18との間の距離とした時、-1/〔3・NA/(m2・p)+1/L〕≦Δx≦1/〔3・NA/(m2・p)-1/L〕の関係式で表わされる範囲内で、受光素子アレイ18をモニタ光学系19の結像面RからΔxだけデフォーカスして配置した。

請求項（抜粋）：

複数の発光源を有する半導体レーザアレイと、前記発光源からの複数のレーザビームを分割するビーム分割手段と、このビーム分割手段により分割された複数のレーザビームを分離・集光する集光手段を有するモニタ光学系と、このモニタ光学系の結像面近傍に配置され前記発光源からのレーザビームを独立して受光する受光素子を有する受光素子アレイとを備え、前記受光素子アレイからの出力に応じて前記半導体レーザアレイの出力を制御するマルチビーム光源装置において、Δxを結像面(Δx=0)からのデフォーカス値とし、NAをモニタ光学系の物体側開口数とし、pを半導体レーザアレイの隣接発光源間距離とし、mをモニタ光学系の結像倍率とし、Lをモニタ光学系の射出瞳と受光素子アレイとの間の距離とした時、-1/〔3・NA/(m2・p)+1/L〕≦Δx≦1/〔3・NA/(m2・p)-1/L〕の関係式で表わされる範囲内で、前記受光素子アレイを前記モニタ光学系の結像面からΔxだけデフォーカスして配置したことを特徴とするマルチビーム光源装置。

IPC (4件)：

G02B 26/10 ,  B41J 2/44 ,  H01L 31/12 ,  H01S 3/18