特許

J-GLOBAL ID：200903020334145898

ラビング装置

発明者： 長倉 一仁 ,  武藤 哲夫
出願人/特許権者： カシオ計算機株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-314920
公開番号（公開出願番号）：特開平7-168184
出願日： 1993年12月15日
公開日（公表日）： 1995年07月04日
要約：

【要約】【目的】ステージとラビングローラとの間隔がラビング中に変化した場合でもステージとラビングローラとの間隔を許容範囲内に保つことのできるラビング装置を提供する。【構成】ステージ1とラビングローラ4との間隔を検出する間隔検出手段としての反射型光検出器19a,19bをステージ1に設けると共に、これら反射型光検出器19a,19bから出力された信号に基づいてステージ昇降機構8のステージ昇降用モータ11を駆動制御するコントローラ20を設けたことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

配向膜が形成された透明基板を置くためのステージと、このステージの上方に設けられたラビングローラと、このラビングローラを回転駆動するローラ駆動機構と、前記ステージを上下方向に移動させて前記配向膜を前記ラビングローラに巻き付けられたラビング布に接触させるステージ昇降機構と、前記ステージを前記ラビングローラの軸方向と直交する方向に水平移動させるステージ移動機構とを具備してなるラビング装置において、前記ステージと前記ラビングローラとの間隔を検出する間隔検出手段と、この間隔検出手段から出力された信号に基づいて前記ステージ昇降機構を駆動制御する制御手段とを設けたことを特徴とするラビング装置。