特許
J-GLOBAL ID：200903020351327762
ポジ型感光性組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
萩野 平 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-125949
公開番号（公開出願番号）：特開平9-309874
出願日： 1996年05月21日
公開日（公表日）： 1997年12月02日
要約：
【要約】【課題】 光感度が高く、優れたレジストパターンが得られ、露光後経時での変化の少ないポジ型感光性組成物を提供できる。【解決手段】 酸の作用により分解し、アルカリ現像液中での溶解性を増大させる基を有する樹脂及び活性光線または放射線の照射により、スルホン酸を発生する特定化合物を含有することを特徴とするポジ型感光性組成物。
請求項（抜粋）：
下記一般式(I)または(II)で表されるスルホニウム又はヨードニウムのジスルホン酸塩化合物。【化1】式中、R1〜R5は、各々独立に水素原子、置換基を有していても良いアルキル基、シクロアルキル基、アルコキシ基、ヒドロキシ基、ハロゲン原子、又は-S-R6基を示す。R6は置換基を有していても良いアルキル基、又はアリール基を示す。Arは置換基を有していても良い二価の単環、多環、又は連結基で結合した単環、多環の芳香族炭化水素基を示す。
IPC (6件)：
C07C305/24
, C07C321/28
, C07C323/20
, G03F 7/004 503
, G03F 7/039 501
, H01L 21/027
C07C305/24
, C07C321/28
, C07C323/20
, G03F 7/004 503
, G03F 7/039 501
, H01L 21/30 502 R
