特許

J-GLOBAL ID：200903020351957251

光ディスク用スタンパの製造方法

発明者： 佐藤 和洋 ,  川崎 実
出願人/特許権者： 日本ビクター株式会社
代理人 (1件)： 二瓶 正敬
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-103707
公開番号（公開出願番号）：特開平5-282714
出願日： 1992年03月30日
公開日（公表日）： 1993年10月29日
要約：

【要約】【目的】 光ディスク用スタンパを製造する際に、製造時間を短縮し、さらに、湿式工程をなくすことで装置の大型化を防止すると同時に、スタンパに形成された情報信号パターンのピットあるいはグルーブの断面形状の悪化を防止することにより、最終的に得られる光ディスクの再生信号特性の劣化を防ぐ。【構成】 基盤11上に除去条件の異なる少なくとも2種類の物質よりなる層状薄膜12,13を形成し、この層状薄膜の表面層13にレーザ光を照射して、表面層を局部的に除去することにより情報信号パターンを形成する工程と、この表面層のパターンをマスクとして下層12をエッチングしたのち、表面層のみを除去する工程と、下層の全面に金属膜15を形成したのちこの金属膜にスタンパ基盤17を接着すると共に前記基盤を剥離する工程と、剥離面に残留する下層物質を除去する工程を含む。

請求項（抜粋）：

基盤上に除去条件の異なる少なくとも2種類の物質よりなる層状薄膜を形成し、この層状薄膜の表面層にレーザ光を照射して、表面層を局部的に除去することにより情報信号パターンを形成する工程と、この表面層のパターンをマスクとして下層をエッチングしたのち表面層のみを除去する工程と、下層の全面に金属膜を形成したのちこの金属膜にスタンパ基盤を接着すると共に前記基盤を剥離する工程と、剥離面に残留する下層物質を除去する工程よりなる光ディスク用スタンパの製造方法。