角速度検出装置

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：鵜沼辰之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-001373
公開番号（公開出願番号）：特開2001-194150
出願日： 2000年01月07日
公開日（公表日）： 2001年07月19日
要約：

【要約】【課題】メカニカルカップリングを無くしながら、加振振動方向の共振周波数とコリオリの力が発生する方向の共振周波数とを一致させ、角速度に対する感度が最大となる形状の振動梁を用いた高感度の角速度検出装置を提供する。【解決手段】互いに逆方向に分極処理された第一のタンタル酸リチウム圧電体2と第二のタンタル酸リチウム圧電体3とを積層させて直方体のバイモルフ構造の振動梁1とし、振動梁1を両持ち支持した構造の角速度検出装置において、振動梁1の厚さtの値が幅Wの値より大きい形状であり、幅Wと厚さtとの形状比W/tが0.864以上0.957以下の形状の振動梁1とする。振動梁1をレーザトリミングによって周波数調整し、メカニカルカップリングを発生させることなく、加振振動方向の共振周波数とコリオリの力が発生する方向の共振周波数とを一致させ、角速度に対する感度が最大となる振動梁1に加工できる。

請求項（抜粋）：

両持ち支持振動梁により角速度に応じたコリオリの力を検出する角速度検出装置において、前記振動梁が、厚み方向に分極された第一のタンタル酸リチウム圧電体と、前記第一の圧電体の分極方向とは逆方向に分極された第二のタンタル酸リチウム圧電体とを積層した直方体状バイモルフ構造の振動梁であり、前記振動梁の厚さtが、当該振動梁の幅Wよりも大きいことを特徴とする角速度検出装置。

IPC (5件)：

G01C 19/56 , G01C 21/00 , G01P 9/04 , G03B 5/00 , G08G 1/0969

FI (5件)：

G01C 19/56 , G01C 21/00 A , G01P 9/04 , G03B 5/00 G , G08G 1/0969

Fターム (20件)：

2F029AA02 , 2F029AB07 , 2F029AC02 , 2F029AC05 , 2F029AC12 , 2F105AA02 , 2F105AA08 , 2F105BB03 , 2F105BB14 , 2F105BB15 , 2F105CC06 , 2F105CD02 , 2F105CD06 , 2F105CD13 , 5H180AA01 , 5H180FF05 , 5H180FF27 , 9A001JZ78 , 9A001KK37 , 9A001KZ42

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