特許

J-GLOBAL ID：200903020353543667

インクジェット式記録ヘッド、これを用いたインクジェット式記録装置、並びに、インクジェット式記録ヘッドの製造方法

発明者： 橋爪 勉
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (1件)： 鈴木 喜三郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-039588
公開番号（公開出願番号）：特開平9-323416
出願日： 1997年02月24日
公開日（公表日）： 1997年12月16日
要約：

【要約】【課題】 薄膜圧電素子デバイスの製造において、圧電体薄膜を挟むふたつの電極の材質が異なる場合、フォトリソグラフィでの電蝕現象の防止。【解決手段】 シリコン基板の圧電素子デバイスの第一の電極LE及び第二の電極TEを共に白金によって形成する。

請求項（抜粋）：

基板の第一の主面に圧電素子デバイスを形成し、第二の主面にインク室を形成してなり、この圧電素子デバイスは、第一の電極と圧電体薄膜と第二の電極とが順次積層されて形成されてなるインクジェット式記録ヘッドであって、前記第一の電極の材質の電気化学ポテンシャルと前記第二の電極の材質の電気化学ポテンシャルとが同じであるインクジェット式記録ヘッド。

IPC (3件)：

B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16

FI (2件)：

B41J 3/04 103 A ,  B41J 3/04 103 H

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開平3-297653
  
• 液体噴射ヘッド
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-201087   出願人：セイコーエプソン株式会社