特許
J-GLOBAL ID：200903020360840294
スキャナシステム
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-025346
公開番号（公開出願番号）：特開平9-218369
出願日： 1996年02月13日
公開日（公表日）： 1997年08月19日
要約：
【要約】【課題】所望の測定データを高感度に得るスキャナシステムを提供する。【解決手段】変位部16aを所望方向へ所望量だけ変位可能なチューブ型圧電体16と、変位部に向けてレーザー光を照射する半導体レーザ18と、変位部に設けられ且つレーザー光が照射された際に回折光を発生させる反射型スケール20と、この反射型スケールから発生した回折光のうち、0次回折光以外の所定の回折光を取り込む第1ないし第4の取込ミラー22x,24x,26y,28yと、第1ないし第4の取込ミラーによって取り込まれた回折光に所定の光学処理を施して、位相の異なる干渉光を形成する干渉光学系30と、干渉光学系によって形成された干渉光の光量変化に基づいて変位部の変位状態を検出する検出手段と、この変位状態に基づいて、チューブ型圧電体を所望の変位状態にフィードバック制御する制御手段とを備えている。
請求項（抜粋）：
変位部を所望方向へ所望量だけ変位可能に構成されたスキャナと、このスキャナの変位部に向けて光を照射する光源と、前記スキャナの変位部に設けられ且つ前記光源からの光が照射された際に回折光を発生させる回折手段と、この回折手段から発生した回折光のうち、0次回折光以外の所定の回折光を取り込む取込光学素子と、この取込光学素子によって取り込まれた回折光に所定の光学処理を施して、位相の異なる干渉光を形成する干渉光学系と、この干渉光学系によって形成された干渉光の光量変化に基づいて、前記スキャナの変位部の変位状態を検出する検出手段と、この検出手段によって検出された変位状態に基づいて、前記スキャナを所望の変位状態にフィードバック制御する制御手段とを備えていることを特徴とするスキャナシステム。
IPC (3件)：
G02B 26/10 101
, G01B 11/00
, G01N 37/00
G02B 26/10 101
, G01B 11/00 A
, G01N 37/00 A
