特許
J-GLOBAL ID：200903020367466231
集積回路の故障検出方法及び故障検出装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-155244
公開番号（公開出願番号）：特開平11-002663
出願日： 1997年06月12日
公開日（公表日）： 1999年01月06日
要約：
【要約】【課題】 IDDQを利用し集積回路を高速に検査する。【解決手段】 LSIテスタ3は、被試験集積回路DUT4とDUT4と同一の良品デバイスであるリファレンス5にテストパタンを繰り返し印加する。電源7からDUT4とリファレンス5に供給される電源電流は電流差分ユニット6で観測され、両者に流れる電源電流の差分情報が出力される。差分情報はスペクトル解析ユニット8で周波数スペクトル解析される。判定器9では、スペクトル解析ユニット8の解析結果からテストパターンの繰返し周波数のスペクトルパワーと予め定められた閾値に基づきDUT4の故障の有無を判定する。
請求項（抜粋）：
電源を接続した集積回路にLSIテスターより一連のテストパタンを繰返して印加したときに流れる静止電源電流を観測することによりCMOS集積回路の故障を検出する集積回路の故障検出方法において、被試験集積回路と被試験集積回路と同一の製品であって良品である参照用集積回路にテストパタンを繰り返し印加し、前記被試験集積回路と前記参照用集積回路にそれぞれ流れる電源電流の差分情報を観測し、前記差分情報の周波数スペクトルのうち、前記一連のテストパターンが繰り返される繰り返し周波数のスペクトル成分の大きさにより、前記被試験集積回路の故障の有無を判定することを特徴とする集積回路の故障検出方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01R 31/28 D
, G01R 31/26 G
