特許

J-GLOBAL ID：200903020369059358

高周波装置

発明者： 日高 晋太郎
出願人/特許権者： 日本電子株式会社
代理人 (1件)： 井島 藤治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-106664
公開番号（公開出願番号）：特開平7-321589
出願日： 1994年05月20日
公開日（公表日）： 1995年12月08日
要約：

【要約】【目的】 瞬間的な負荷変動に対しては応答せず安定なインピーダンスのマッチング動作を行うことができる高周波装置を実現する。【構成】 高周波電源1への反射電力Prはカプラ12により検出され、その値はコントローラ13に供給される。コントローラ13は反射電力Prの値を監視しており、反射電力Prが変化した場合、第1と第2の制御回路8,10を制御し、一定時間そのオートマッチング動作を停止させる。

請求項（抜粋）：

高周波電源と、高周波電源からの高周波電力が供給される負荷と、電源と負荷との間に配置され、マッチング可変コンデンサとチューニング可変コンデンサとコイルとから成るマッチングボックスと、それぞれのコンデンサを調整するためのモータと、マッチングボックスに入力する高周波の入力インピーダンスと入力高周波の電圧と電流との位相差を検出する検出器と、検出された入力インピーダンスと位相差とに基づいてモータを駆動し、マッチング可変コンデンサとチューニング可変コンデンサを自動的に調整するための調整手段と、負荷からの高周波電力の反射電力を検出する手段とを備え、反射電力の検出から一定時間調整手段の動作を停止させるように構成した高周波装置。