特許

J-GLOBAL ID：200903020372660089

有機EL素子の陽電極の製造方法、製造装置および陽電極

発明者： 森 匡見
出願人/特許権者： ティーディーケイ株式会社
代理人 (1件)： 石井 陽一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-306638
公開番号（公開出願番号）：特開平11-126688
出願日： 1997年10月21日
公開日（公表日）： 1999年05月11日
要約：

【要約】【課題】 抵抗率が低く、ディスプレイに応用した場合に、大画面化、複雑な発光パターン、高精細画面等が実現可能な有機EL素子の陽電極の製造方法、製造装置および陽電極を提供する。【解決手段】 ターゲット2と基板1とを有し、前記基板1上にスパッタ法にて陽電極を成膜する有機EL素子の陽電極の製造方法であって、前記ターゲットの基板の中心に近い端部を基準としたときに、ターゲット面に対して、45〜85度の仰角となる範囲内に基板を配置し、少なくとも陽電極の表面部分を成膜する。

請求項（抜粋）：

基板上にスパッタ法にてターゲットから飛散した材料で陽電極を成膜する有機EL素子の陽電極の製造方法であって、前記ターゲットの基板の中心に近い端部を基準としたときに、ターゲット面に対して、45〜85度の仰角となる範囲内に基板を配置し、少なくとも陽電極の表面部分を成膜する有機EL素子の陽電極の製造方法。

IPC (3件)：

H05B 33/10 ,  H05B 33/14 ,  H05B 33/26

FI (3件)：

H05B 33/10 ,  H05B 33/14 A ,  H05B 33/26