スリットコータ

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-268176
公開番号（公開出願番号）：特開2002-079163
出願日： 2000年09月05日
公開日（公表日）： 2002年03月19日
要約：

【要約】【課題】塗布液を塗布した直後に初期乾燥を行っても、ムラが発生せず、装置は短く、サイズ替え機構を必要とせず、タクトタイムを短縮することが可能なスリットコータを提供すること。【解決手段】1)定盤、第一昇降ピン及び第二昇降ピン、排気パイプで構成されるステージ11、2)減圧チャンバーを形成する減圧カバー12、3)基板上に塗布液を塗布するスリットノズル13を具備すること。

請求項（抜粋）：

基板上にスリットノズルから塗布液を塗布するスリットコータにおいて、1)a)フレーム上に設けられた、基板を載置・固定する吸引バキューム付き定盤、b)該定盤を貫通して設けられ、上下方向に該基板を昇降させる第一昇降ピン及び第二昇降ピン、c)フレーム上部からフレーム内部を経て外部にまで設けられた、排気パイプ、で構成されるステージ、2)該ステージ上方に位置し、塗布膜を初期乾燥する際にはフレームまで降下して、フレーム上部に減圧チャンバーを形成する減圧カバー、3)該ステージ左方、フレーム上方の待機位置に設けられ、該基板上に塗布液を塗布する際には右方に移動し、定盤上に載置・固定された基板上に塗布液を塗布するスリットノズル、を具備することを特徴とするスリットコータ。

IPC (3件)：

B05C 5/02 , B05C 9/12 , G03F 7/16 501

FI (3件)：

B05C 5/02 , B05C 9/12 , G03F 7/16 501

Fターム (15件)：

2H025AB13 , 2H025AB17 , 2H025EA04 , 4F041AA02 , 4F041AA05 , 4F041AB02 , 4F041BA05 , 4F041BA51 , 4F041CA02 , 4F041CA21 , 4F042AA02 , 4F042AA10 , 4F042DC03 , 4F042DF09 , 4F042DF34

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