特許

J-GLOBAL ID：200903020379445744

ガス中微量水分測定装置およびガス中微量水分測定方法

発明者： 大塚 孝洋 ,  高畑 忠雄 ,  小野沢 和久 ,  斉藤 哲美
出願人/特許権者： 旭電化工業株式会社
代理人 (1件)： 曾我 道照 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-140371
公開番号（公開出願番号）：特開平9-325114
出願日： 1996年06月03日
公開日（公表日）： 1997年12月16日
要約：

【要約】【課題】 高い感度で、精度よく、しかも低コストでガス中に微量存在する水分を測定することのできるガス中微量水分測定装置およびガス中微量水分測定方法の提供。【解決手段】 測定装置に任意量の水分を含む検量ガスを供給する手段2;測定装置に前記検量ガス中の水分濃度を希釈するキャリアーガスを供給する手段3;検量ガスの供給流量を調節する手段7;キャリアーガスの供給流量を調節する手段6;測定装置内部全体を乾燥不活性ガスによりパージする手段;測定装置に測定対象ガスを供給する手段1;および赤外線吸光度が測定可能な赤外線分光光度計10;を備えた測定装置およびこの装置を用いる測定方法。

請求項（抜粋）：

赤外線分光光度計を使用して、測定対象ガスに含まれる微量水分を測定するためのガス中微量水分測定装置において、前記測定装置は:前記測定装置に任意量の水分を含む検量ガスを供給する手段;前記測定装置に前記検量ガス中の水分濃度を希釈するキャリアーガスを供給する手段;前記検量ガスの供給流量を調節する手段;前記キャリアーガスの供給流量を調節する手段;前記測定装置内部全体を乾燥不活性ガスによりパージする手段;前記測定装置に測定対象ガスを供給する手段;および赤外線吸光度が測定可能な赤外線分光光度計;を備えたことを特徴とするガス中微量水分測定装置。