特許
J-GLOBAL ID：200903020383492765
荷電粒子線露光装置における非点収差補正器の補正感度の確認方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
細江 利昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-340925
公開番号（公開出願番号）：特開2004-179235
出願日： 2002年11月25日
公開日（公表日）： 2004年06月24日
要約：
【課題】非点収差補正器の補正感度が正しいかどうかを確認する方法を提供する。【解決手段】非点歪の大きさが分かった場合、非点収差補正器5、非点収差補正器6の2つに与えるコイルの電流調整して、非点歪を補償する。この状態で、非点収差補正器7の2つのコイルに流す電流を調整し、像の非点ボケが最小となるような電流値を決定する。この状態で、像の非点歪を測定する。前述のように、非点収差補正器5、6により非点歪は補償されて0となっているはずであるので、もしそうであれば、この非点歪は、非点収差補正器7によって発生したもののみのはずである。計算によって求まった非点収差補正器7によって発生する非点歪と、実測された非点歪の差が所定値以内であれば、非点収差補正器5、6により非点歪は補償されて0となっているという仮定が正しかったことになり、従って、非点収差補正器5、6の補正感度は正しかったということが言える。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
荷電粒子線露光装置において、非点収差補正器の補正感度が正しく決定されているかどうかを確認する方法であって、非点収差補正に用いる非点収差補正器と別の非点収差補正器により、前記非点収差補正に用いる非点収差補正器で非点歪補正を行ったときに発生する非点ボケを補正するような磁場又は電場を発生させ、そのときに得られる非点歪を測定することにより、非点収差補正器の感度が正しく決定されているかどうかを確認することを特徴とする荷電粒子線露光装置における非点収差補正器の感度の補正確認方法。
IPC (5件)：
H01L21/027
, G03F7/20
, G03F9/02
, H01J37/153
, H01J37/305
H01L21/30 541N
, G03F7/20 504
, G03F9/02 H
, H01J37/153 Z
, H01J37/305 B
2H097AA03
, 2H097BA01
, 2H097BB10
, 2H097CA16
, 2H097GB01
, 2H097KA01
, 2H097KA38
, 2H097LA10
, 5C033JJ01
, 5C034BB08
, 5F056AA22
, 5F056AA27
, 5F056BA10
, 5F056CB29
, 5F056EA01
