特許
J-GLOBAL ID：200903020393669272
表面計測器
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-059283
公開番号（公開出願番号）：特開平10-221351
出願日： 1989年02月17日
公開日（公表日）： 1998年08月21日
要約：
【要約】【目的】試料内の歪あるいはクラック等の、試料内部の情報を得ること、およびSTM測定中の針と試料との間隔(真空ギャップ)の測定や絶縁体表面形状の観察をも可能ならしめること。【構成】試料1は、導電性ブロック2の表面に貼り付けられ、該ブロック2の裏面には、ピエゾ板3,4が貼り付けられ、針11には電源7により直流電圧vdが与えられ、針11を試料1の表面に接近させると両者間にトンネル電流iが流れる。このトンネル電流iは電流計8により検出され、発振器15からの交流電圧vfは針11に直流電圧vdに重畳して与えられる。試料表面に発生した歪は歪波となって試料中およびブロック2中を伝播し、ピエゾ板3,4を歪ませる。ピエゾ板3,4の誘起電圧vP1,vP2を差動アンプ5により引き算処理する。
請求項（抜粋）：
試料、前記試料に対抗して配置される先端が鋭利な探針、前記探針あるいは前記試料を相対的且つ二次元的に走査させる走査機構、第1の探針の状態で前記探針と前記試料間に働く物理情報を検出する検出手段、前記検出された物理情報を参照して前記試料と前記探針との距離を制御する帰還機構、前記帰還機構の動作を一時的に保持状態におく保持機構、前記保持状態のもとで第2の探針の状態で前記試料と前記探針間に作用する他の物理情報を検出する検出手段、前記走査機構からの信号に対応して前記帰還機構からの出力信号あるいは前記第1の探針の状態での前記検出手段の出力及び第2の探針の状態での前記検出手段の出力を独立に表示する手段とよりなることを特徴とする表面計測器。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 37/00 B
, G01B 7/34 Z
