特許
J-GLOBAL ID:200903020396720945
放射線2次元検出器
発明者:
,
出願人/特許権者:
,
代理人 (2件):
武石 靖彦
, 西岡 義明
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-213186
公開番号(公開出願番号):特開平7-063859
出願日: 1993年08月27日
公開日(公表日): 1995年03月10日
要約:
【要約】【目的】 高感度でS/N比の高い良質の画像が得られ、且つ、単位時間当たりの画像収集枚数が大きくとれる光応答性に優れた固体走査方式の放射線2次元検出器を得る。【構成】 X線による画像を光の画像に変換するシンチレータ1、透光性電極2、光導電膜3、スイッチング素子マトリックス5を順次積層し、光導電膜3を阻止型接触を持つ電極に挟まれた電荷増倍作用をもつ非晶質半導体層とした。
請求項(抜粋):
放射線による画像を光の画像に変換するシンチレータと、シンチレータからの光の画像を電荷の画像に変換するターゲット膜と、上記ターゲット膜を2次元的に走査し、ターゲット膜に蓄えられた電荷を読み出すスイッチング素子マトリックスとを積層してなる放射線2次元検出器において、上記ターゲット膜が阻止型接触を持つ電極に挟まれた電荷増倍作用をもつ非晶質半導体層からなる光導電膜であることを特徴とする放射線2次元検出器。
IPC (5件):
G01T 1/20
, A61B 6/00 300
, G06F 19/00
, H01L 27/14
, H01L 31/09
FI (3件):
G06F 15/52
, H01L 27/14 K
, H01L 31/00 A
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