特許

J-GLOBAL ID：200903020406502950

外部シャッタユニット

発明者： 小田嶋 孝広
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 高橋 勇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-149424
公開番号（公開出願番号）：特開平9-327783
出願日： 1996年06月11日
公開日（公表日）： 1997年12月22日
要約：

【要約】【課題】 レーザビームの横モード分布及び時間波形を安定して検出することを課題とする。ことを課題とする。【解決手段】 レーザ発振器から出射するレーザビームLを被加工物に照射することでレーザ加工を行うレーザ加工装置に装備される外部シャッタユニットにおいて、レーザ発振器のレーザ出力側でレーザビームLの光軸に対して傾斜して配設した半透過型の反射板1と、この反射板1をレーザ発振器との対向面の反対側から保持すると共に,当該反射板1を透過したレーザビームLを通過させる微小穴2Aを有するシャッタ部材2と、このシャッタ部材2の微小穴2Aを通過したレーザビームLの光強度を検出する検出センサ3と、この検出センサ3を保持する保持部材4と、反射板1により反射されたレーザビームLを吸収するヒートシンク5とを備え、シャッタ部材2と保持部材4とを一体的にレーザビームLの光軸に対してほぼ垂直方向に移動させる垂直方向移動手段を有する構成とする。

請求項（抜粋）：

レーザ発振器から出射するレーザビームを被加工物に照射することでレーザ加工を行うレーザ加工装置に装備される外部シャッタユニットにおいて、レーザ発振器のレーザ出力側でレーザビームの光軸に対して傾斜して配設した半透過型の反射板と、この反射板を前記レーザ発振器との対向面の反対側から保持すると共に,当該反射板を透過した前記レーザビームを通過させる微小穴を有するシャッタ部材と、このシャッタ部材の微小穴を通過した前記レーザビームの光強度を検出する検出センサと、この検出センサを保持する保持部材と、前記反射板により反射されたレーザビームを吸収するヒートシンクとを備え、前記シャッタ部材と前記保持部材とを一体的に前記レーザビームの光軸に対してほぼ垂直方向に移動させる垂直方向移動手段を有することを特徴とする外部シャッタユニット。

IPC (5件)：

B23K 26/06 ,  B23K 26/00 ,  H01S 3/00 ,  H01S 3/10 ,  H01S 3/16

FI (6件)：

B23K 26/06 J ,  B23K 26/00 M ,  H01S 3/00 G ,  H01S 3/00 B ,  H01S 3/10 Z ,  H01S 3/16