特許

J-GLOBAL ID：200903020415235549

三弗化窒素含有排ガスの処理方法

発明者： 折原 逸雄 ,  福島 守之 ,  佐藤 四郎
出願人/特許権者： 関東電化工業株式会社
代理人 (1件)： 湯浅 恭三 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-172243
公開番号（公開出願番号）：特開平5-015740
出願日： 1991年07月12日
公開日（公表日）： 1993年01月26日
要約：

【要約】【目的】 従来提案されてきた三弗化窒素(NF3)含有排ガス処理法の欠点を改良し簡便かつ効率的にNF3含有排ガスを処理し大気汚染又は作業環境上問題のない濃度迄無害化する方法を提供する。【構成】 三弗化窒素(NF3)を含有する排ガスを、活性炭と金属酸化物とからなる混合物と200〜600°Cの範囲の温度で接触反応させることにより三弗化窒素含有排ガスを無害化処理する。

請求項（抜粋）：

三弗化窒素を含有する排ガスを、活性炭と金属酸化物とからなる混合物と200〜600°Cの範囲の温度で反応させることを特徴とする三弗化窒素含有排ガスの処理方法。

IPC (4件)：

B01D 53/36 ,  B01J 21/18 ,  B01J 23/06 ,  B01J 23/74 301

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 特開平2-303524
  
• 特開平1-258746
  
• 特開平1-261206