特許

J-GLOBAL ID：200903020417396493

保護膜付きターゲットおよび表面処理方法

発明者： 高塚 裕二
出願人/特許権者： 住友金属鉱山株式会社
代理人 (1件)： 鴨田 朝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-008566
公開番号（公開出願番号）：特開2002-212718
出願日： 2001年01月17日
公開日（公表日）： 2002年07月31日
要約：

【要約】【課題】 プリスパッタにより、効率的にターゲット表面の酸化膜および汚染物を取り除くことのできるターゲットおよび表面処理方法の組合せを提供する。【解決手段】 一方の面に金属膜2bを形成し、他方の面に粘着シート2cを配置したプラスチックフィルム2aからなる保護膜2を、該粘着シート2cで、ターゲット1の片面に貼り付ける。特に、一方の面にアルミニウム膜2bを蒸着し、他方の面に粘着シート2cを配置したポリエステルフィルムまたはナイロンフィルムからなる保護膜2を、該粘着シート2cで、ターゲット1の片面に貼り付けることが好ましい。前記ターゲット1から前記保護膜2を剥がし、大気中でのグロー放電を利用した酸素プラズマまたは窒素プラズマを当てる。前記グロー放電は、パワーが0.5W/cm2〜50W/cm2で、かつ照射時間が0.5秒〜10秒であることが望ましい。

請求項（抜粋）：

一方の面に金属膜を形成し、他方の面に粘着シートを配置したプラスチックフィルムからなる保護膜を、該粘着シートでターゲットの片面に貼り付けた保護膜付きターゲット。

IPC (4件)：

C23C 14/34 ,  G11B 7/26 531 ,  H01L 21/203 ,  H01L 21/285

FI (4件)：

C23C 14/34 C ,  G11B 7/26 531 ,  H01L 21/203 S ,  H01L 21/285 S

Fターム (15件)：

4K029DC01 ,  4K029DC04 ,  4K029EA09 ,  4K029FA09 ,  4M104BB02 ,  4M104BB04 ,  4M104BB13 ,  4M104BB14 ,  4M104DD40 ,  4M104HH20 ,  5D121AA01 ,  5D121AA05 ,  5D121EE09 ,  5F103AA08 ,  5F103PP01