特許
J-GLOBAL ID：200903020429682351
研磨具の面圧均一化装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三好 秀和 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-233274
公開番号（公開出願番号）：特開平7-088758
出願日： 1993年09月20日
公開日（公表日）： 1995年04月04日
要約：
【要約】【目的】 被加工物への押圧力が所望の分布となるように圧力を可変とし、押圧力や被加工物の剛性、研磨具の硬さ等の変動に容易に対処できるようにした研磨具の面圧均一化装置を提供することにある。【構成】 複数の磁界発生器3,5,7と、この磁界発生器3,5,7からの磁界を所定位置に誘導する複数の磁路と、この磁路の端部に設けられ袋状体23に包含した磁性流体21と、複数の磁路端部を覆うと共に前記磁性流体21を介して磁路端部の反対側に設けられた弱剛性体25と、を備えてなることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
複数の磁界発生器と、この磁界発生器からの磁界を所定位置に誘導する複数の磁路と、この磁路の端部に設けられ袋状体に包含した磁性流体と、複数の磁路端部を覆うと共に前記磁性流体を介して磁路端部の反対側に設けられた弱剛性体と、を備えてなることを特徴とする研磨具の面圧均一化装置。
IPC (2件)：
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