光制御素子および光空間伝送装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高田守 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-023765
公開番号（公開出願番号）：特開平8-220454
出願日： 1995年02月13日
公開日（公表日）： 1996年08月30日
要約：

【要約】【目的】ミラーのアクチュエータに圧電素子を用いることにより、ミラー付近の帯電物の影響を受けない光制御素子を得ることを目的とする。【構成】入射光を反射するミラー23、上記ミラー23を1つの軸に関して回転できるように支持する互いに垂直に接合した2枚の薄板から構成されたねじり剛性の低いフレキシブルピボット24,25、上記フレキシブルピボット24,25を固定するビーム26、上記ミラー23に固定され上記ミラー23を回転させる圧電素子71,72、上記圧電素子71,72を駆動する電極75、上記圧電素子71,72に固定された重り73,74から光制御素子を構成した。

請求項（抜粋）：

入射光を反射するミラー、上記ミラーを1つの軸に関して回転できるように支持する互いに垂直に接合した2枚の薄板から構成されたねじり剛性の低いフレキシブルピボット、上記フレキシブルピボットを固定するビーム、上記ミラーに固定され上記ミラーを回転させる圧電素子、上記圧電素子を駆動する電極、上記圧電素子に固定された重りとを面状にかつマトリスク状に配列して反射光制御ミラーを構成することを特徴とする光制御素子。

IPC (4件)：

G02B 26/08 , H04B 10/105 , H04B 10/10 , H04B 10/22

FI (2件)：

G02B 26/08 E , H04B 9/00 R

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