特許
J-GLOBAL ID：200903020441384005
結晶体膜の作製方法及び作製装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
梅田 勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-347455
公開番号（公開出願番号）：特開平6-204132
出願日： 1992年12月28日
公開日（公表日）： 1994年07月22日
要約：
【要約】【目的】 結晶成長中の処理温度を制御することにより、結晶核生成密度及び結晶成長速度等を制御し、短時間で粒径の大きい結晶体膜を得る。【構成】 結晶成長に追随して変化する光学定数を測定することにより結晶化の度合を検知し、結晶化の度合に応じて結晶化に必要な供給エネルギーを変化させることにより処理温度を制御する。また、光学定数の測定方法として、分光計測が可能な偏光解析装置をもちいる。
請求項（抜粋）：
基板上に形成した非単結晶体膜を結晶化する方法であって、該基板上の非単結晶体膜の光学定数を測定することにより、該基板上の非単結晶体膜の結晶化の度合を求め、該基板上の非単結晶体膜の結晶化の度合に応じて結晶化に必要なエネルギーを変化させることを特徴とする結晶体膜の作製方法。
IPC (2件)：
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