特許
J-GLOBAL ID：200903020442012373
インテリジェントテストラインシステム
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-313404
公開番号（公開出願番号）：特開平7-167911
出願日： 1993年12月14日
公開日（公表日）： 1995年07月04日
要約：
【要約】【目的】製品のテストコストを削減する。【構成】プロセス系11から得られる各種膜形成情報、エッチング情報、洗浄情報、熱処理情報や検査情報などの工程情報は、ホストコンピュ-タ13に入力される。また、D/S系12から得られる歩留り情報も、ホストコンピュ-タ13に入力される。ホストコンピュ-タ13は、これらの情報に基いて、ウェハ又はウェハロットを複数の品質区分に振り分け、その品質区分に基いて予め定められた処理条件をバ-ンイン系14、テスト系15に伝達する。バ-ンイン系14、テスト系15では、当該処理条件に基づいて、それぞれバ-ンイン、テストが実行される。
請求項（抜粋）：
ウェハを加工する加工手段と、当該ウェハから形成されるICチップを評価する評価手段と、前記加工手段及び前記評価手段から得られる所定の情報に基いて当該ウェハ又はウェハロットごとにバ-ンイン条件及びテスト条件を設定する制御手段と、前記ICチップを組み立て製品を作成する組立手段と、前記バ-ンイン条件に従って前記製品をバ-ンインするバ-ンイン手段と、前記テスト条件に従って前記バ-ンイン後の製品をテストするテスト手段とを具備することを特徴とするインテリジェントテストラインシステム。
IPC (2件)：
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